杜新胜1,齐舒含2
(1.中国石油兰州石化公司研究院,甘肃 兰州 730060;2.浙江传媒学院电子信息学院,浙江 杭州 310018)
摘要:综述了热压印光刻胶的主要分类,重点介绍了热固性光刻胶和热塑性光刻胶的研究进展,并介绍了2种光刻胶的应用情况,最后指出热压印光刻胶今后的发展方向。
关键词:热压印;光刻胶;热固性;热塑性
中图分类号:TQ437 文献标识码:A 文章编号:1001-5922(2016)06-0000-00