热压印光刻胶的研究进展
作者:admin   日期:2016/12/16

杜新胜1,齐舒含2

1.中国石油兰州石化公司研究院,甘肃 兰州 7300602.浙江传媒学院电子信息学院,浙江 杭州 310018

 

摘要:综述了热压印光刻胶的主要分类,重点介绍了热固性光刻胶和热塑性光刻胶的研究进展,并介绍了2种光刻胶的应用情况,最后指出热压印光刻胶今后的发展方向。

关键词:热压印;光刻胶;热固性;热塑性

中图分类号:TQ437        文献标识码:A        文章编号:1001-5922201606-0000-00