冯波，艾照全，朱超，宋梦瑶
（有机功能分子合成与应用教育部重点实验室，湖北大学化学化工学院，湖北武汉 430062）
摘要：光刻胶是集成电路和分立器件的基础工艺材料，主体成膜树脂是光刻胶的重要组分之一，不同的成膜树脂对光刻胶的性能有不同影响。主要综述了光刻胶的分类，影响光刻胶成膜树脂性能的因素，成膜树脂的发展，及光刻胶的主要技术参数。
关键词：光刻胶；单体；成膜树脂；光敏度；化学放大光刻胶；有效含碳量
中图分类号：TQ577.3+5 文献标识码：A 文章编号：1001-5922（2015）02-0000-00
