李炎¹，刘玉岭¹，李洪波^1,2，卜小峰³，唐继英¹，樊世燕¹

（1.河北工业大学微电子研究所，天津 300130；2.河北联合大学信息工程学院，河北 唐山 063000；3.天纺检测技术有限公司，广东 东莞 523160）

摘要：涂层黏度实验证实，硅溶胶黏度越大，所制备涂层的附着力越大，耐腐蚀性能越强。通过对硅溶胶的物理化学性能研究可知，硅溶胶体积分数的增加会导致体系pH值的上升，当体积分数为10%时，pH值达到最大值9.91。当pH值为9.7时，硅溶胶的黏度最大且Zeta电位绝对值最大。根据硅溶胶体积分数和体系pH值的线性关系，得出硅溶胶最佳体积分数为9.074%。

关键词：硅溶胶；黏度；表面粗糙度

中图分类号：O648.16     文献标识码：A     文章编号：1001-5922（2014）07-0000-00

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